超純水系統(tǒng)工藝流程
超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分:超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。
超純水系統(tǒng)工藝流程：
1、預(yù)處理→反滲透→水箱→陽床→陰床→混床→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精制混床→精密過濾器→用水對象
2、預(yù)處理→一級反滲透→加藥泵（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→二級反滲透→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
3、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
超純水系統(tǒng)主要特點：
*該系統(tǒng)一切動作均在預(yù)設(shè)程序下自動進行，具備全自動功能。
*系統(tǒng)結(jié)構(gòu)布置緊湊，有效節(jié)約空間。
*系統(tǒng)能耗低，制水成本低廉。
*系統(tǒng)運行安全可靠，供水管路封閉，出水水質(zhì)穩(wěn)定。
超純水系統(tǒng)適用范圍：生產(chǎn)半導(dǎo)體、光伏太陽能、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業(yè)用超純水系統(tǒng)。
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